Аннотация
Экспериментально изучаются закономерности энерговыделения в плазме новой модификации высокочастотного (ВЧ) разряда - гибридного ВЧ разряда, поддерживаемого как вихревым, так и потенциальным ВЧ электрическими полями. Для организации такого разряда в работе используется узел ввода ВЧ мощности в виде параллельно соединенных индуктора и обкладок конденсатора. В настоящей работе представлены данные, полученные при изучении влияния величины мощности, поступающей в плазму, и давления аргона на эквивалентное сопротивление гибридного разряда, являющегося мерой способности плазмы поглощать ВЧ мощность. Рассмотрена роль емкостного канала в балансе ВЧ мощности, поступающей в разряд.
Поступила: 10 января 2010
Статья подписана в печать: 13 ноября 2010
PACS:
52.50.-b Plasma production and heating
52.80.Pi High-frequency and RF discharges
52.80.-s Electric discharges
52.80.Pi High-frequency and RF discharges
52.80.-s Electric discharges
English citation: Experimental study of patterns of energy input into hybrid low pressure discharge for varying RF generator power and argon pressure
A.F. Alexandrov, K.V. Vavilin, E.A. Kral’kina, V.B. Pavlov, A.A. Rukhadze, V.P. Savinov, Chen Zhao, V.G. Yakunin
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А.Ф. Александров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, А.А. Рухадзе, В.П. Савинов, Ч. Чжао, В.Г. Якунин
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2