Статья

Экспериментальное изучение закономерностей энерговыделения в гибридном высокочастотном разрядe низкого давления при изменении мощности высокочастотного генератора и давления аргона

А.Ф. Александров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, А.А. Рухадзе, В.П. Савинов, Ч. Чжао, В.Г. Якунин

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2010. № 4. С. 71

Статья

Аннотация

Экспериментально изучаются закономерности энерговыделения в плазме новой модификации высокочастотного (ВЧ) разряда - гибридного ВЧ разряда, поддерживаемого как вихревым, так и потенциальным ВЧ электрическими полями. Для организации такого разряда в работе используется узел ввода ВЧ мощности в виде параллельно соединенных индуктора и обкладок конденсатора. В настоящей работе представлены данные, полученные при изучении влияния величины мощности, поступающей в плазму, и давления аргона на эквивалентное сопротивление гибридного разряда, являющегося мерой способности плазмы поглощать ВЧ мощность. Рассмотрена роль емкостного канала в балансе ВЧ мощности, поступающей в разряд.

Поступила: 10 января 2010

Статья подписана в печать: 13 ноября 2010

PACS:

52.50.-b Plasma production and heating
52.80.Pi High-frequency and RF discharges
52.80.-s Electric discharges

English citation: Experimental study of patterns of energy input into hybrid low pressure discharge for varying RF generator power and argon pressure

A.F. Alexandrov, K.V. Vavilin, E.A. Kral’kina, V.B. Pavlov, A.A. Rukhadze, V.P. Savinov, Chen Zhao, V.G. Yakunin

Авторы

А.Ф. Александров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, А.А. Рухадзе, В.П. Савинов, Ч. Чжао, В.Г. Якунин
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2

Выпуск 4, 2010

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.