Структурное упорядочение и эффекты самоорганизации в многослойных пленках Pd/Fe

Изучены структурные особенности распределения атомов Pd и Fe в многослойных пленках, полученных напылением в разряде Пеннинга. Процесс получения пленок относится к разряду существенно неравновесных, но вместе с тем относительно простых с точки зрения возможностей структурных реализаций, проявляющихся в процессе самоорганизации напыляемых атомов в виде возникновения кластеров со своей упорядоченной структурой. Существенно, что возникающий в процессе напыления <<динамический хаос>> стабилизируется при кристаллизации, что позволяет исследовать полученную структуру методами неразрушающего контроля, обладающими достаточно широкими возможностями. Поэтому изучение процессов самоорганизации при напылении многослойных пленок представляет интерес с точки зрения выявления механизмов возникновения кластеров и их моделирования. В работе также показано, что самоорганизация в процессе напыления и последующей кристаллизации сопровождается не только упорядочением в виде кластеров, но и сами кластеры располагаются упорядоченно.