Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Пространственные и временные эффекты при осаждении частиц на тонкие пленки диоксида кремния, получаемые с использованием высокоэнергетических процессов напыления

Ф.В. Григорьев, В.Б. Сулимов, О.А. Кондакова, И.В. Кочиков, А.В. Тихонравов

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2013. № 3. С. 80

  • Статья
Аннотация

В работе моделируется взаимодействие осаждаемых атомов c пленкой диоксида кремния в случае использования высокоэнергетических процессов для напыления оптических нанопокрытий. Используется метод молекулярной динамики с классическим силовым полем для описания взаимодействия между атомами. Оценено характерное время быстрой релаксации кинетической энергии осаждаемого атома, характерная глубина его проникновения в пленку. Показано, что существенное значение для формирования покрытий имеет угловое распределение скоростей напыляемых атомов.

Поступила: 21 февраля 2013
Статья подписана в печать: 25 сентября 2013
PACS:
31.15.-p Calculations and mathematical techniques in atomic and molecular physics
English citation: Spatial and temporal effects upon deposition of particles onto thin films of silicon dioxide produced using high-energy deposition processes
F.V. Grogoriev, V.B. Sulimov, O.A. Kondakova, I.V. Kochikov, A.V. Tikhonravov
Авторы
Ф.В. Григорьев, В.Б. Сулимов, О.А. Кондакова, И.В. Кочиков, А.В. Тихонравов
Научно-исследовательский вычислительный центр Московского государственного университета имени М.В. Ломоносова. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 4
Выпуск 3, 2013

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.