Влияние атмосферы воздуха на электрические свойства двухфазных пленок гидрогенизированного кремния

Аморфный и микрокристаллический кремний являются важными материалами для современной тонкопленочной электроники. Электрические параметры кремниевых пленок в ряде случаев зависят от окружающей образцы среды, в частности воздуха. В работе исследовано влияние окружающей атмосферы на электрические свойства двухфазных кремниевых пленок с объемной долей кристаллической фазы от 0 до 80%. Показано, что изменение проводимости двухфазных пленок в результате их выдержки в атмосфере воздуха зависит от соотношения аморфной и микрокристаллической фаз, формирующих структуру пленок. Использование двух различных технологий получения пленок позволило качественно оценить влияние на их проводимость адсорбции молекул газов из воздуха на поверхности пленок с неоднородной по толщине структурой. Для образцов с малой долей кристаллической фазы, расположенной на поверхности пленок, после их выдержки в атмосфере воздуха наблюдались особенности температурной зависимости проводимости.