В работе исследуется возможность применения широкополосного оптического контроля при напылении сглаживающих фильтров для телекоммуникационных приложений. На основе результатов моделирования процесса напыления и детального математического ана-лиза показывается, что точное воспроизведение требуемых спектральных характеристик фильтра оказывается возможным только благодаря присущей этому методу контроля корре-ляции ошибок процесса напыления и связанному с ней эффекту самокомпенсации ошибок. Обсуждается вопрос о выборе оптимального с точки зрения практики спектрального диапа-зона мониторинга
42.86.+b Optical workshop techniques
$^1$Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.