Статья

Рассеяние и эмиссия ионов из диэлектрических плёнок

Е. Ю. Зыкова, А. Е. Иешкин, К. Ф. Миннебаев, К. Е. Озерова, Н. Г. Орликовская, Э. И. Рау, А. А. Татаринцев

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2023. № 2. 2320302

Статья

Аннотация

Для определения влияния потенциала поверхности диэлектрических образцов на выход положительных ионов при ионном облучении проведено исследование зависимости тока вторичных частиц от толщины диэлектрических плёнок. Показано, что выход положительных вторичных частиц значительно увеличивается с ростом толщины, если потенциал зарядки плёнки не превышает пробойного значения, определяемого электрической прочностью плёнки. Косвенным подтверждением зарядки плёнки в этих экспериментах служит зависимость от времени тока с держателя образца. Проведена экспериментальная оценка аппаратного эффекта, вызванного эмиссией вторичных электронов из полусферического коллектора. Обсуждаются возможные механизмы наблюдаемых явлений.

Поступила: 30 сентября 2022

Статья подписана в печать: 8 августа 2023

DOI: 10.55959/MSU0579-9392.78.2320302

PACS:

79.20.Rf Atomic, molecular, and ion beam impact and interactions with surfaces
34.50.Dy Interactions of atoms and molecules with surfaces; photon and electron emission; neutralization of ions
41.75.Ak Positive-ion beams

English citation: Scattering and ion emission from insulator films

E. Yu. Zykova, A. E. Ieshkin, K. F. Minnebaev, K. E. Ozerova, N. G. Orlikovskaya, E. I. Rau, A. A. Tatarintsev

Авторы

Е. Ю. Зыкова, А. Е. Иешкин, К. Ф. Миннебаев, К. Е. Озерова, Н. Г. Орликовская, Э. И. Рау, А. А. Татаринцев
$^1$Физический факультет МГУ имени М.В.Ломоносова..

Выпуск 2, 2023

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.