Аннотация
В работе сообщаются результаты экспериментального исследования распыления поликристаллического сплава CuPt, облучаемого ионами Ar$^+$ с энергиями 20 кэВ и 80 кэВ. Коэффициент распыления сплава измеряли с помощью обратного резерфордовского рассеяния ионов He$^+$ с энергией 2 МэВ. Установлено, что коэффициент распыления сплава меньше соответствующего значения для Cu, но выше значения для Pt. Результаты обсуждаются в рамках современных представлений о преимущественном распылении многокомпонентных материалов.
Поступила: 8 сентября 2022
Статья подписана в печать: 8 августа 2023
PACS:
79.20.Rf Atomic, molecular, and ion beam impact and interactions with surfaces
68.35.Dv Composition, segregation; defects and impurities
68.35.Dv Composition, segregation; defects and impurities
English citation: Sputtering of CuPt alloy
V. S. Chernysh, D. K. Minnebaev, D. S. Kireev
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
В. С. Черныш, Д. К. Миннебаев, Д. С. Киреев
$^1$Московский государственный университет имени М.В Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники
$^1$Московский государственный университет имени М.В Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники