Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Распыление сплава CuPt

В. С. Черныш, Д. К. Миннебаев, Д. С. Киреев

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2023. № 2. 2320301

  • Статья
Аннотация

В работе сообщаются результаты экспериментального исследования распыления поликристаллического сплава CuPt, облучаемого ионами Ar$^+$ с энергиями 20 кэВ и 80 кэВ. Коэффициент распыления сплава измеряли с помощью обратного резерфордовского рассеяния ионов He$^+$ с энергией 2 МэВ. Установлено, что коэффициент распыления сплава меньше соответствующего значения для Cu, но выше значения для Pt. Результаты обсуждаются в рамках современных представлений о преимущественном распылении многокомпонентных материалов.

Поступила: 8 сентября 2022
Статья подписана в печать: 8 августа 2023
PACS:
79.20.Rf Atomic, molecular, and ion beam impact and interactions with surfaces
68.35.Dv Composition, segregation; defects and impurities
English citation: Sputtering of CuPt alloy
V. S. Chernysh, D. K. Minnebaev, D. S. Kireev
Авторы
В. С. Черныш, Д. К. Миннебаев, Д. С. Киреев
$^1$Московский государственный университет имени М.В Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники
Выпуск 2, 2023

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.