Влияние ионно-кластерной бомбардировки на грубо полированную поверхность пластин монокристаллического германия

Исследована обработка поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона. Исходная поверхность пластин германия бомбардировалась кластерными ионами аргона с высокой (105 эВ/атом) и низкой (10 эВ/атом) удельной энергией. Используя атомно-силовой микроскоп, получены изображения и проведено сравнение топографии поверхности до и после ионно-кластерной бомбардировки. С помощью функции спектральной плотности мощности шероховатости продемонстрировано сглаживание поверхности в диапазоне пространственных частот: 1) ν = 1−8 мкм^−1 – для высокоэнергетического режима; 2) ν = 0.7−2.5 мкм^−1 – для низкоэнергетического режима.