Представлены v→v константы скоростей колебательно-неупругих столкновений атома O с молекулой O$_2$ для колебательных квантовых чисел v от 0 до 8 и температур от 100К до 1000 К. Константы скорости отдельных колебательно-вращательных переходов были рассчитаны теоретически с использованием ab initio потенциала взаимодействия O-O$_2$ для основного состояния O$_3$. Константы скорости колебательно-поступательной (VT) релаксации получены путем суммирования констант скорости колебательно-вращательных переходов для различных конечных вращательных состояний, а затем суммирования по начальным вращательным состояниям с использованием равновесного распределения Больцмана для газовых температур, представляющих интерес при описании процессов в низкотемпературной кислородсодержащей плазмы. Полученные константы скорости сравниваются с доступными результатами квазиклассических расчетов. Результаты работы могут быть востребованы для моделирования различных технологических процессов, таких как плазменное травление, обработка поверхностей, плазменная стерилизация и т.д.
52.20.Hv Atomic, molecular, ion, and heavy-particle collisions
$^1$1 - Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына (НИИЯФ МГУ)\
$^2$undefined\
$^3$Университет Бристоля