Структура и магнитные свойства пленок никеля, полученных в разряде с осциллирующими электронами при бомбардировке ионами криптона низкой энергии

Показана зависимость структурных и магнитных параметров пленок Ni от энергии ионов $Кr^+$, бомбардирующих пленку в процессе ее напыления. Полученные зависимости объясняются наличием в разряде дискретных областей ионизации, упругим и неупругим характером взаимодействия ионов $Кr^+$ с поверхностью пленки, соотношением потоков атомов Ni и ионов $Кr^+$ в двух различных режимах разряда, а также различным характером взаимодействия ионов с ГЦК и ГПУ фазами никеля.