Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Распыление на прострел монокристалла нитрида бора

В.А. Эльтеков, Н.Н. Негребецкая

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 1995. № 4. С. 82

  • Статья
Аннотация

С помощью динамической модели блока атомов исследован процесс распыления на прострел графитоподобного нитрида бора ионами аргона с энергией $Е_0= 0,3—4$ кэВ, падающими на грань (0001). Рассчитаны интегральные и дифференциальные характеристики распыления на прострел. Расчет показывает, что преимущественно распыляются атомы азота. Картина угловых распределений эмитированных атомов имеет симметрию третьего порядка. Обсуждаются механизмы распыления на основе различных моделей структуры мишени BN(0001).

English citation: Forward sputtering of boron nitride single crystals
V.А. El'tekov and N.N. Negrebetskaya
Авторы
В.А. Эльтеков, Н.Н. Негребецкая
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра математики. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Выпуск 4, 1995

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.