Аннотация
Изучено влияние адсорбции воды на проводимость и емкость структур кремний-пористый кремний-металл в диапазоне частот $10^2$-$2\cdot10^3$ Гц. Показано, что чувствительность исследованных структур к адсорбционному воздействию по импедансу максимальна в области частот от нескольких сотен герц до 1 кГц.
English citation: Effect of water adsorption on the impedance of silicon-porous silicon-metal structures
S.N. Kozlov, A.N. Nevzorov, A.A. Petrov
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
C.Н. Козлов, А.Н. Невзоров, А.А. Петров
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра общей физики и молекулярной электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра общей физики и молекулярной электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2