Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Исследование эффективности сцинтилляционных детекторов обратно рассеянных электронов в РЭМ

Р.Н. Бирченко, Э.И. Рау, М.Н. Филиппов

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2000. № 2. С. 28

  • Статья
Аннотация

Проведенные эксперименты продемонстрировали, что сцинтилляционные детекторы, используемые в РЭМ для регистрации потоков обратно отраженных электронов, заметно различаются по эффективности регистрации различными областями активной части.

English citation:
R.N. Birchenko, E.I. Rau, M.N. Filippov.
Studying the efficiency of scintillation detectors for back-scattered electrons in SEM.
Moscow University Physics Bulletin 2000. 55. N 2. P. 35.
Авторы
Р.Н. Бирченко, Э.И. Рау, М.Н. Филиппов
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Выпуск 2, 2000

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.