Аннотация
Получена простая аналитическая формула для спектра пространственных гармоник дифрагированного поля. Показано, каким образом с ее помощью можно построить эффективный алгоритм расчета изображения в фотолитографии.
PACS:
42.30.Kq Fourier optics
English citation: Fraunhofer diffraction on a polygon and calculation of binary mask images
G. V. Belokopytov, Yu. V. Ryzhikova
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
Г. В. Белокопытов, Ю. В. Рыжикова
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики колебаний. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики колебаний. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.