Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Механизм самокомпенсации ошибок при широкополосном оптическом контроле процесса напыления многослойных покрытий

А.В. Тихонравов$^1$, И.В. Кочиков$^1$, М.К.Трубецков$^2$, С.А. Шарапова$^1$, В.Г. Жупанов$^3$, А.Г. Ягола$^4$

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2017. № 3. С. 55

  • Статья
Аннотация

Впервые проведено исследование механизма самокомпенсации ошибок в процессе напыления многослойных оптических покрытий в случае широкополосного оптического контроля толщин слоев покрытия. Математически описан процесс корреляции ошибок в толщинах слоев при оптическом контроле. Определены условия, при которых данная корреляция может приводить к эффекту самокомпенсации ошибок.

Поступила: 11 ноября 2016
Статья подписана в печать: 23 августа 2017
PACS:
42.79.Wc Optical coatings
02.70.-c Computational techniques; simulations
English citation:
A.V.Tikhonravov, I.V. Kochikov, M.K.Trubetskov, S.A. Sharapova, V.G. Zhupanov, A.G. Yagola.
An Error Self-Compensation Mechanism for Deposition of Optical Coatings with Broadband Optical Monitoring.
Moscow University Physics Bulletin 2017. 72. N 3. P. 274.
DOI: 10.3103/S0027134917030134
Авторы
А.В. Тихонравов$^1$, И.В. Кочиков$^1$, М.К.Трубецков$^2$, С.А. Шарапова$^1$, В.Г. Жупанов$^3$, А.Г. Ягола$^4$
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр
$^2$Max Planck Institute of Quantum Optics, Hans-Kopfermann Str. 1, 85748, Garching, Germany
$^3$ФГУП НИИ НПО «ЛУЧ», Подольск, ул.Железнодорожная, д.24
$^4$Московский государственный университет имени М.В Ломоносова, физический факультет, кафедра математики
Выпуск 3, 2017

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.