Аннотация
Впервые проведено исследование механизма самокомпенсации ошибок в процессе напыления многослойных оптических покрытий в случае широкополосного оптического контроля толщин слоев покрытия. Математически описан процесс корреляции ошибок в толщинах слоев при оптическом контроле. Определены условия, при которых данная корреляция может приводить к эффекту самокомпенсации ошибок.
Поступила: 11 ноября 2016
Статья подписана в печать: 23 августа 2017
PACS:
42.79.Wc Optical coatings
02.70.-c Computational techniques; simulations
02.70.-c Computational techniques; simulations
English citation: An Error Self-Compensation Mechanism for Deposition
of Optical Coatings with Broadband Optical Monitoring
A.V.Tikhonravov, I.V. Kochikov, M.K.Trubetskov, S.A. Sharapova, V.G. Zhupanov, A.G. Yagola
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А.В. Тихонравов$^1$, И.В. Кочиков$^1$, М.К.Трубецков$^2$, С.А. Шарапова$^1$, В.Г. Жупанов$^3$, А.Г. Ягола$^4$
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр\
$^2$Max Planck Institute of Quantum Optics, Hans-Kopfermann Str. 1, 85748, Garching, Germany\\
$^3$ФГУП НИИ НПО «ЛУЧ», Подольск, ул.Железнодорожная, д.24\\
$^4$Московский государственный университет имени М.В Ломоносова, физический факультет, кафедра математики
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр\
$^2$Max Planck Institute of Quantum Optics, Hans-Kopfermann Str. 1, 85748, Garching, Germany\\
$^3$ФГУП НИИ НПО «ЛУЧ», Подольск, ул.Железнодорожная, д.24\\
$^4$Московский государственный университет имени М.В Ломоносова, физический факультет, кафедра математики
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.