Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Влияние электронного облучения на рост пленок некоторых металлов (Al, Сu, Sb)на диэлектрических подложках

Е.М. Дубинина, С.С. Еловиков, А.С. Овсяницкий, Г.П. Нетишенская, Е.П. Кириленко

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 1979. № 5. С. 54

  • Статья
Аннотация

В работе исследуется вопрос о влиянии электронного облучения на рост пленок А1, Сu и Sb на монокристаллических образцах (NaCl) и неориентирующих подложках из ситалла и моноокиси кремния (SiOx). Показано, что при выращивании слоев указанных металлов на кристаллах NaCl электронная бомбардировка обычно приводит к снижению температуры эпитаксии. Пленки, осажденные на аморфных образцах при воздействии электронов, обладают большей степенью упорядоченности.

English citation: Effect of electron irradiation on the growth of films of certain metals (Al, Сu, Sb) on dielectric substrates
E.M. Dubinina, S.S. Elovikov, A.S. Ovsyanitskii, G.P. Netishenskayas and E.P. Kirilenko
Авторы
Е.М. Дубинина, С.С. Еловиков, А.С. Овсяницкий, Г.П. Нетишенская, Е.П. Кириленко
Кафедра электроники
Выпуск 5, 1979

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.