Статья

Моделирование распыления атомов компонент назад и на прострел при ионной бомбардировке монокристаллической и квазиаморфной двухкомпонентных мишеней

В.Н. Самойлов, В.А. Эльтеков, Б. Фритч, Н.Г. Ананьева

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 1987. № 6. С. 65

Статья

Аннотация

Для сравнения характеристик распыления двухкомпонентных монокристаллической и аморфной мишеней применена динамическая модель блока атомов. Показано, что различие этих характеристик обусловлено не только нарушением структуры, но и двухкомпонентным составом мишени.

English citation: Simulation of back and transmission sputtering of atoms under the ion bombardment of single-crystal and quasiamorphous two-component targets

V.N. Samoilov, V.A. El'tekov, B. Fritzsch, N.G. Anan'eva

Авторы

В.Н. Самойлов, В.А. Эльтеков, Б. Фритч, Н.Г. Ананьева
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра общей физики для физического факультета; кафедра математики. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2

Выпуск 6, 1987

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.