Аннотация
Для определения бесконтактным способом неоднородности проводимости по толщине полупроводниковой пластины рассмотрена интерференция микроволн в структуре слабо поглощающая пластина-воздушный промежуток-зеркало. Показано, что измерения коэффициента отражения такой структуры при определенных значениях длин волн и воздушных промежутков позволяют найти приближенные значения коэффициентов разложения в ряд Фурье проводимости пластины.
English citation: Interaction between microwaves and semiconductor wafer-mirror structure
O.G. Koshelev, E.A. Forsh
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
О.Г. Кошелев, Е.А. Форш
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики полупроводников. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики полупроводников. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.