Предложена физическая модель термически индуцированных процессов диффузии и фазообразования в слоистых системах металл-металлоид. Осуществлена программная реализация модели, позволяющая количественно описывать кинетику этих процессов при произвольных режимах отжига. Проведено сравнение результатов теоретических расчетов с результатами экспериментальных исследований методами мёссбауэровской спектроскопии слоистой имплантационной системы $^{57}$Fe:O$^{+}$. Согласие численных расчетов с экспериментальными данными указывает на то, что характер фазовых превращений в исследованной системе определяется изменением локальной концентрации металлоида в процессе его межузельной диффузии и соответствует особенностям фазовой диаграммы равновесных состояний бинарной системы Fe-O.
$^1$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра общей физики. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
$^2$Институт ядерной физики НЯЦ РК. Казахстан, 050032, Алма-Ата, ул. Ибрагимова, д. 1