Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Силовые поля для молекулярно-динамического моделирования процесса напыления пленок диоксида кремния

Ф.В. Григорьев$^{1,2}$

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2015. № 6. С. 93

  • Статья
Аннотация

В работе проведено сравнение двух силовых полей, предназначенных для молекулярно-динамического моделирования процесса напыления тонких пленок диоксида кремния. Проведен анализ структурных характеристик (плотность, радиальная функция распределения) кластера стеклообразного диоксида кремния, используемого в качестве подложки, и напыленной пленки. Показано, что для моделирования процесса напыления больше подходит силовое поле DESIL, в котором взаимодействие Ван-дер-Ваальса описывается потенциалом Леннарда-Джонса.

Поступила: 22 июня 2015
Статья подписана в печать: 22 января 2016
PACS:
80.00.00 INTERDISCIPLINARY PHYSICS AND RELATED AREAS OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
Авторы
Ф.В. Григорьев$^{1,2}$
$^1$Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 4.
$^2$Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ». Россия, 115409, Москва, Каширское ш., д. 31.
Выпуск 6, 2015

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.