Аннотация
В работе предлагается подход к повышению точности широкополосного контроля процесса напыления оптических покрытий за счёт определения фактического набора толщин слоёв покрытия в процессе напыления. На серии модельных численных экспериментов с использованием симулятора процесса напыления показана эффективность предложенного подхода.
Поступила: 4 сентября 2017
Статья подписана в печать: 24 января 2019
PACS:
42.25.Hz Interference
English citation: Improving the Accuracy of Broad-Band Monitoring
of Optical Coating Deposition
T. F. Isaev, I. V. Kochikov, D. V. Lukyanenko, A. V. Tikhonravov, A. G. Yagola
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
Т. Ф. Исаев, И. В. Кочиков, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола
$^1$Московский государственный университет имени М.В Ломоносова, физический факультет
$^1$Московский государственный университет имени М.В Ломоносова, физический факультет
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.