Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Влияние энергии имплантации ионов Ar+ на фотолюминесценцию пористого кремния

А. В. Кожемяко$^1$, А. А. Шемухин$^{2,3}$, А. В. Назаров$^1$, Ю. М. Спивак$^4$, Е. Н. Муратова$^4$, В. С. Черныш$^{1,2}$

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2020. № 6. С. 69

  • Статья
Аннотация

Проведено облучение пористого кремния ионами аргона с энергиями из диапазона 100-400 кэВ и ионным флюенсом 10^12 см^(-2). Исследовано влияние ионного облучения при разных энергиях налетающих частиц на спектр фотолюминесценции пористого кремния. Показано, что спектр фотолюминесценции состоит из двух компонент, одна из которых объясняется присутствием дефектов в структуре, а другая – поверхностными состояниям на развитой поверхности пористого кремния. Предлагается метод оценки толщины люминесцирующего слоя, основанный на анализе пика фотолюминесценции, относящегося к дефектам.

Поступила: 30 августа 2020
Статья подписана в печать: 23 марта 2021
PACS:
79.20.-m Impact phenomena
English citation: Influence of the implantation energy with Ar+ ions on the photoluminescence of porous silicon
A. V. Kozemiako, A. A. Shemukhin, A. V. Nazarov, Yu. M. Spivak, E. N. Muratova, V. S. Chernysh
Авторы
А. В. Кожемяко$^1$, А. А. Шемухин$^{2,3}$, А. В. Назаров$^1$, Ю. М. Спивак$^4$, Е. Н. Муратова$^4$, В. С. Черныш$^{1,2}$
$^1$Московский государственный университет имени М.В Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники, кафедра физической электроники.\
$^2$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына (НИИЯФ МГУ)\
$^3$Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Центр квантовых технологий\
$^4$Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В.И. Ульянова (Ленина)
Выпуск 6, 2020

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.