Аннотация
Исследована корреляция ошибок при различных стратегиях широкополосного оптического контроля процесса напыления многослойных покрытий, включая стратегии со сменными чипами мониторинга. Показана необходимость учета эффекта самокомпенсации ошибок при обсуждении вопроса о выборе стратегии контроля. Результаты проведенного исследования могут быть использованы для выбора наиболее перспективной стратегии контроля для заданного типа многослойных покрытий.
Поступила: 13 ноября 2020
Статья подписана в печать: 17 мая 2021
PACS:
42.25.Hz Interference
English citation: On the choice of a strategy for broadband optical monitoring of the deposition
of multilayer coatings
T. F. Isaev, A. V. Tikhonravov, A. G. Yagola
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
Т. Ф. Исаев$^1$, А. В. Тихонравов$^2$, А. Г. Ягола$^1$
$^1$Кафедра математики Физического факультета МГУ\
$^2$Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр
$^1$Кафедра математики Физического факультета МГУ\
$^2$Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.