Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

О выборе стратегий широкополосного оптического контроля напыления многослойных покрытий

Т. Ф. Исаев$^1$, А. В. Тихонравов$^2$, А. Г. Ягола$^1$

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2021. № 1. С. 30

  • Статья
Аннотация

Исследована корреляция ошибок при различных стратегиях широкополосного оптического контроля процесса напыления многослойных покрытий, включая стратегии со сменными чипами мониторинга. Показана необходимость учета эффекта самокомпенсации ошибок при обсуждении вопроса о выборе стратегии контроля. Результаты проведенного исследования могут быть использованы для выбора наиболее перспективной стратегии контроля для заданного типа многослойных покрытий.

Поступила: 13 ноября 2020
Статья подписана в печать: 17 мая 2021
PACS:
42.25.Hz Interference
Авторы
Т. Ф. Исаев$^1$, А. В. Тихонравов$^2$, А. Г. Ягола$^1$
$^1$Кафедра математики Физического факультета МГУ\
$^2$Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр
Выпуск 1, 2021

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.