Статья

Трехмерная сканирующая электронная микроскопия топографии поверхности с учетом влияния функции отклика детекторной системы

А. А. Борзунов$^1$, В. В. Забродский$^2$, С. В. Зайцев$^3$, В. Ю. Караулов$^3$, Д. В. Лукьяненко$^{1,4}$, Э. И. Рау$^3$, Е. В. Шерстнёв$^2$, А. Г. Ягола$^1$

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2021. № 4. С. 23

Статья

Аннотация

Приводится описание экспериментальной системы детектирования отраженных электронов (ОЭ) в сканирующем электронном микроскопе (СЭМ) для трехмерной (3D) визуализации поверхностного рельефа микроструктур. 3D реконструкция топографии осуществляется по алгоритму восстановления профилей по заранее определенным угловым зависимостям ОЭ на тестовом калибровочном образце. Показано большое влияние на детектируемый сигнал аппаратной функции детекторной системы, т.е. функции отклика, а также геометрического фактора, учитывающего трансформацию углового распределения для однократного и многократного рассеяния ОЭ.

Поступила: 9 апреля 2021

Статья подписана в печать: 3 января 2022

PACS:

73.21.-b Electron states and collective excitations in multilayers, quantum wells, mesoscopic, and nanoscale systems
71.15.Qe Excited states: methodology
07.78.+s Electron, positron, and ion microscopes; electron diffractometers

English citation: TThree-Dimensional Scanning Electron Microscopy of Surface Topography with Consideration of the Effect of the Response Function of the Detector System

A. A. Borzunov, V. V. Zabrodsky, S. V. Zaitsev, V. Yu. Karaulov, D. V. Lukyanenko, E. I. Rau, E. V. Sherstnev, A. G. Yagola

Авторы

А. А. Борзунов$^1$, В. В. Забродский$^2$, С. В. Зайцев$^3$, В. Ю. Караулов$^3$, Д. В. Лукьяненко$^{1,4}$, Э. И. Рау$^3$, Е. В. Шерстнёв$^2$, А. Г. Ягола$^1$
$^1$Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра математики.\
$^2$Государственный физико-технический институт им. Иоффе РАН\
$^3$Московский государственный университет имени М.В Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники, кафедра физической электроники.\
$^4$Московский центр фундаментальной и прикладной математики

Выпуск 4, 2021

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.