Аннотация
Точность определения параметров первого слоя оптического покрытия имеет определяющее значение для точности контроля процесса напыления всего многослойного покрытия. В работе предлагается использовать нелокальный алгоритм анализа данных оптического мониторинга, позволяющий использовать более точную модель слоя. Возможности нового нелокального алгоритма демонстрируются на примере исследования параметров первого слоя покрытия из оксида ниобия, который является одним из основных пленкообразующих материалов с высоким показателем преломления.
Поступила: 8 июня 2021
Статья подписана в печать: 10 января 2022
PACS:
42.25.Hz Interference
English citation: Determination of the parameters of the first layer in optical coating deposition with broad-band optical monitoring
T. F. Isaev, I. S. Lagutin, A. A. Lagutina, D. V. Lukyanenko, O. F. Prosovskiy, A. V. Tikhonravov, A. G. Yagola
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
Т. Ф. Исаев$^{1,2}$, Ю. С. Лагутин$^{1,2,3}$, А. А. Лагутина$^{1,2,3}$, Д. В. Лукьяненко$^{1,2,3}$, О. Ф. Просовский$^4$, А. В. Тихонравов$^{2,3}$, А. Г. Ягола$^{1,2}$
$^1$МГУ имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра математики\
$^2$Научно-исследовательский вычислительный центр МГУ имени М. В. Ломоносова\
$^3$Московский центр фундаментальной и прикладной математики\
$^4$АО ОНПП «Технология»
$^1$МГУ имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра математики\
$^2$Научно-исследовательский вычислительный центр МГУ имени М. В. Ломоносова\
$^3$Московский центр фундаментальной и прикладной математики\
$^4$АО ОНПП «Технология»