Статья

О выборе метода контроля процесса напыления оптических покрытий

А. В. Тихонравов$^1$, А. А. Лагутина$^{1,2}$, Ю. С. Лагутин$^{1,2}$, Д. В. Лукьяненко$^{1,2}$, С. А. Шарапова$^1$, А. Н. Шаров$^3$, А. Г. Ягола$^{1,2}$

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2023. № 6. 2360105

Статья

Аннотация

Сформулированы основные теоретические результаты по оценке силы эффекта самокомпенсации ошибок в толщинах слоев многослойных оптических покрытий, применимые при любом методе оптического контроля процесса их напыления. Показано, что учет возможного наличия сильного эффекта самокомпенсации ошибок в толщинах слоев покрытий имеет большое значение для выбора метода контроля. Проведен сравнительный анализ полученных к настоящему времени результатов по оценке силы эффекта самокомпенсации ошибок для различных типов покрытий. При этом ряд результатов получен впервые непосредственно в данной работе. Полученные результаты могут быть использованы для выбора оптимального метода контроля процесса напыления в зависимости от типа покрытия.

Поступила: 4 октября 2023

Статья подписана в печать: 28 февраля 2024

DOI: 10.55959/MSU0579-9392.78.2360105

PACS:

02.70.-c Computational techniques; simulations

English citation: To the choice of monitoring procedure of optical coating deposition

A. V. Tikhonravov, A. A. Lagutina, Yu. S. Lagutin, D. V. Lukyanenko, S. A. Sharapova, A. N. Sharov, A. G. Yagola

Авторы

А. В. Тихонравов$^1$, А. А. Лагутина$^{1,2}$, Ю. С. Лагутин$^{1,2}$, Д. В. Лукьяненко$^{1,2}$, С. А. Шарапова$^1$, А. Н. Шаров$^3$, А. Г. Ягола$^{1,2}$
$^1$Научно-исследовательский вычислительный центр МГУ имени М. В. Ломоносова\
$^2$undefined\
$^3$undefined

Выпуск 6, 2023

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.