Аннотация
Проведены исследования по определению и анализу логического состояния ячеек памяти микроконтроллера без удаления пассивирующих покрытий с использованием методов атомно-силовой микроскопии. Выбрана эффективная оптимальная методика регистрации электрического потенциала на поверхности интегральных микросхем.
Поступила: 14 декабря 2009
Статья подписана в печать: 23 июня 2010
PACS:
07.79.Lh Atomic force microscopes
42.82.Cr Fabrication techniques; lithography, pattern transfer
85.40.-e Microelectronics: LSI, VLSI, ULSI; integrated circuit fabrication technology
42.82.Cr Fabrication techniques; lithography, pattern transfer
85.40.-e Microelectronics: LSI, VLSI, ULSI; integrated circuit fabrication technology
English citation: Studies of the logical state of integrated microcircuits by atomic force microscopy
A.M. Tagachenkov
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А.М. Тагаченков
Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН. Россия, 119991, Москва, Ленинский просп., д. 32А
Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН. Россия, 119991, Москва, Ленинский просп., д. 32А
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.