Аннотация
Исследовано влияние освещения пленок микрокристаллического гидрированного кремния, слабо легированных бором, на их электрические и фотоэлектрические параметры. Обнаружено изменение проводимости и фотопроводимости пленок после их освещения в атмосфере сухого воздуха. Освещение в вакууме не изменяло параметров пленок $p$-типа и уменьшало проводимость пленок $n$-типа. Полученные результаты объясняются в рамках модели, предполагающей влияние адсорбированного пленками кислорода на фотоиндуцированные изменения параметров.
English citation: The effect of illumination on parameters of microcrystalline hydrogenated silicon films with various boron doping levels
A.G. Kazanskii, P.A. Forsh
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А.Г. Казанский, П.А. Форш
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики полупроводников. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики полупроводников. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2