Аннотация
Даны объяснения противоречивых результатов в ряде исследований временных характеристик зарядки диэлектрических мишеней под воздействием электронного облучения. Разногласия вызваны различием времен наступления квазиравновесного состояния двух основных параметров зарядки: полного коэффициента вторичной электронной эмиссии и поверхностного электростатического потенциала.
Поступила: 23 ноября 2012
Статья подписана в печать: 20 ноября 2013
PACS:
73.20.-r Electron states at surfaces and interfaces
07.78.+s Electron, positron, and ion microscopes; electron diffractometers
71.15.-m Methods of electronic structure calculations
07.78.+s Electron, positron, and ion microscopes; electron diffractometers
71.15.-m Methods of electronic structure calculations
English citation: An explanation of certain contradictions in the treatment of the charging dynamics of dielectric targets under the effect of electron irradiation
E.N. Evstaf’eva, E.I. Rau, A.A. Tatarintsev
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
Е.Н. Евстафьева$^1$, Э.И. Рау$^{1,2}$, А.А. Татаринцев$^2$
$^1$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
$^2$Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. Россия, 142432, Московская обл., г. Черноголовка, ул. Академика Осипьяна, д. 6
$^1$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
$^2$Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. Россия, 142432, Московская обл., г. Черноголовка, ул. Академика Осипьяна, д. 6