Аннотация
Продемонстрирована возможность использования предложенной модели стохастических дендритов в процессе самоорганизации для моделирования процессов электроосаждения и электрохимимической миграции. Показано соответствие результатов экспериментам, сделан вывод о возможности использования модели для оценки ключевых параметров производства микроэлектроники.
Поступила: 18 мая 2022
Статья подписана в печать: 13 ноября 2022
PACS:
61.43.Hv Fractals; macroscopic aggregates
07.05.Tp Computer modeling and simulation
07.05.Tp Computer modeling and simulation
English citation: Fractal characteristics of electrodeposition dendrites and electrochemical migration
A. V. Kosyrev, Yu. V. Ryzhikova, S. B. Ryzhikov
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А. В. Косырев$^2$, Ю. В. Рыжикова$^{1,2}$, С. Б. Рыжиков$^3$
$^1$МГУ им. М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра оптики, спектроскопии и физики наносистем\
$^2$МГУ им. М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра оптики, спектроскопии и физики наносистем\
$^3$Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, физический факультет, кафедра общей физики
$^1$МГУ им. М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра оптики, спектроскопии и физики наносистем\
$^2$МГУ им. М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра оптики, спектроскопии и физики наносистем\
$^3$Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, физический факультет, кафедра общей физики