Статья

Влияние индуктивного канала на параметры приэлектродных слоев пространственного заряда в гибридном ВЧ разряде

А.Ф. Александров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.П. Савинов, В.Г. Якунин

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2010. № 1. С. 43

Статья

Аннотация

Экспериментально изучаются физические свойства новой модификации ВЧ разряда - гибридного ВЧ разряда (ГВЧР), поддерживаемого как вихревым, так и потенциальным ВЧ электрическими полями, создаваемыми индуктивным и емкостным каналами разряда. Исследовано влияние индуктивного канала на параметры приэлектродных слоев пространственного заряда, определяющих емкостную составляющую физического механизма ГВЧР.

Поступила: 17 сентября 2009

Статья подписана в печать: 28 мая 2010

PACS:

52.50.-b Plasma production and heating
52.80.Pi High-frequency and RF discharges
52.80.-s Electric discharges

English citation: The inductive channel effect on the parameters of the space-charge electrode sheaths in a hybrid RF discharge

A.F. Alexandrov, K.V. Vavilin, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov, V.P. Savinov, V.G. Yakunin

Авторы

А.Ф. Александров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.П. Савинов, В.Г. Якунин
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2

Выпуск 1, 2010

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.