Влияние легирования на структуру и особенности трибологического поведения вакуумных алмазоподобных покрытий

Приведены результаты исследования атомно-кристаллической структуры, фазового и химического составов алмазоподобных покрытий, полученных методами плазмохимического осаждения (a-C:H:Si и a-C:H:Si:Mо) и магнетронного реактивного распыления (a-C:H:Cr). Для покрытий a-C:H:Si:Mо обнаружено образование ультрадисперсных включений, имеющих состав карбидных или силицидных фаз молибдена. В покрытиях a-C:H:Cr при напылении в смеси ацетилен-азот установлено формирование нанокомпозитной структуры на основе хрома, а также наличие карбидных и нитридных фаз. Трибологические испытания показали, что покрытия, содержащие кремний и кремний-молибден, имеют высокий коэффициент трения и низкую фрикционно-усталостную долговечность, тогда как покрытия, содержащие хром, имеют высокие механические и трибологические характеристики, что делает их перспективными для работы при больших контактных давлениях.