Статья

Определение параметров первого слоя покрытия при широкополосном оптическом контроле процесса напыления

Т. Ф. Исаев$^{1,2}$, Ю. С. Лагутин$^{1,2,3}$, А. А. Лагутина$^{1,2,3}$, Д. В. Лукьяненко$^{1,2,3}$, О. Ф. Просовский$^4$, А. В. Тихонравов$^{2,3}$, А. Г. Ягола$^{1,2}$

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2021. № 5. С. 91

Статья

Аннотация

Точность определения параметров первого слоя оптического покрытия имеет определяющее значение для точности контроля процесса напыления всего многослойного покрытия. В работе предлагается использовать нелокальный алгоритм анализа данных оптического мониторинга, позволяющий использовать более точную модель слоя. Возможности нового нелокального алгоритма демонстрируются на примере исследования параметров первого слоя покрытия из оксида ниобия, который является одним из основных пленкообразующих материалов с высоким показателем преломления.

Поступила: 8 июня 2021

Статья подписана в печать: 10 января 2022

PACS:

42.25.Hz Interference

English citation: Determination of the parameters of the first layer in optical coating deposition with broad-band optical monitoring

T. F. Isaev, I. S. Lagutin, A. A. Lagutina, D. V. Lukyanenko, O. F. Prosovskiy, A. V. Tikhonravov, A. G. Yagola

Авторы

Т. Ф. Исаев$^{1,2}$, Ю. С. Лагутин$^{1,2,3}$, А. А. Лагутина$^{1,2,3}$, Д. В. Лукьяненко$^{1,2,3}$, О. Ф. Просовский$^4$, А. В. Тихонравов$^{2,3}$, А. Г. Ягола$^{1,2}$
$^1$МГУ имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра математики\
$^2$Научно-исследовательский вычислительный центр МГУ имени М. В. Ломоносова\
$^3$Московский центр фундаментальной и прикладной математики\
$^4$АО ОНПП «Технология»

Выпуск 5, 2021

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.