Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Генерация второй гармоники и суммарной частоты при отражении от поверхности кремния, имплантированной ионами фосфора: диагностика разупорядочения кристаллической структуры

М.Ф. Галяутдинов, С.В. Говорков, Н.И. Коротеев, И.Б. Хайбуллин, И.Л. Шумай

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 1986. № 4. С. 99

  • Статья
Аннотация

Сообщается о наблюдении ориентационных зависимостей интенсивности второй гармоники и суммарной частоты, генерируемых при отражении от поверхности кремния среза (111), имплантированной ионами фосфора. Эксперимент показал, что с ростом дозы имплантации относительная величина анизотропного вклада в сигнал падает, что соответствует постепенному росту степени разупорядочения кристаллической структуры.

English citation:
M.F. Galyautdinov, S.V. Govorkov, N.I. Koroteev, I.B. Khaibullin, I.L. Shumai.
Generation of a second harmonic and a total frequency with reflection from a silicon surface implanted with phosphorus ions: diagnosis of crystalline structure randomization.
Moscow University Physics Bulletin 1986. 41. N 4. P. 123.
Авторы
М.Ф. Галяутдинов, С.В. Говорков, Н.И. Коротеев, И.Б. Хайбуллин, И.Л. Шумай
Выпуск 4, 1986

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.